稀土抛光粉的生产制备工艺流程中沉淀法，以以稀土可溶盐为原料进行煅烧沉淀，主要方法如碳酸盐法 、碱式盐法、草酸盐法 、氢氧化物、硫酸复盐等。
（1）以碳酸稀土混合物(Ce02含量在45％左右)为原料制备高铈抛光粉工艺：碳酸稀土混合物经过煅烧生成氧化稀土，用酸处理得到 CeO (oH )2沉淀和三价稀土溶液，洗涤 CeO(OH)2沉淀、干燥、煅烧可得到 Ce02含量 98 —99％的高铈抛光粉，表面积 3—5m2／g，平均粒径1．5 —2um ，相对其它抛光粉有极佳的抛光能力，达到320mg／30m in。
（2）氯化稀土用水溶解得氯化稀土溶液，用碱和氧化剂处理得氢氧化铈 ，再用酸处理得铈浓缩液，加入沉淀剂得沉淀物，经过于燥、煅烧、粉碎和分级、混合得到含 CeO2 80％一90％的氯化铈系抛光粉。
（3）以轻稀土氯化物为原料，以硅氟酸及碳酸氢铵为沉淀剂得稀土氟碳酸盐沉淀、水洗、过滤、煅烧、筛球磨分等步骤。所制得的产品颗粒细、均匀、化学活性强、抛光效率高、应用领域广。
（4）采用氯化稀土或分离后的铈富集物为原料，生产的稀土抛光粉质量好，但生产工序多，成本高。一般用硫酸铵、草酸、碳酸钠或碳酸氢铵及氨水作沉淀剂，经过煅烧、分级、过滤、烘干等步骤制得的抛光粉，CeO2片含量在 45％ 一55％左右，最佳煅烧温度为 850 —950℃，煅烧时间为 2．5 —3h。但不同沉淀剂制备的抛光粉性能不同，其中以用硫酸铵作沉淀剂，经过碱化、氟硅酸氟化后所制得的抛光粉其抛蚀量最好，而以用碳酸氢铵及氨水作为沉淀剂、加水煮沸、氟硅酸氟化后所制得的抛光粉其抛蚀量最差。
