稀土抛光粉的在抛光过程中的作用历史上，人们曾用较为坚硬的碎石或天然砂粒将石器磨平抛光，以便石器更加实用和美观。随着陶器等产品的出现，人们更加注重对其表面的研磨和抛光，但是过程仍停留在原始的手工劳动。到中世纪末玻璃行业的兴起时，欧洲开始生产大块镜子时，对玻璃的研磨和抛光工艺得以快速发展，那时的玻璃研磨工艺，主要是在机床上进行。工业上逐渐将玻璃的冷加工划分为粗磨、细磨和抛光三个阶段。对玻璃进行化学机械抛光，可有效的提高玻璃工件表面质量，从而满足目前显示器玻璃，触摸屏等精密玻璃行业的抛光。关于对稀土抛光材料的机理，目前还没有形成一个完全的统一理论，但是主要有以下几点:
1、化学作用学说，玻璃抛光是水、抛光材料、抛光垫和玻璃几者之间的综合化学作用的结果。目前，学术界比较同意的一种意见是:抛光过程是机械、物理化学和化学的综合作用，其中机械的作用是基本，化学的作用是重点，研磨过程中同时存在着流变现象。
2、流变作用的学说(物理化学的学说)，即摩擦使玻璃的表面塑性变形，或是摩擦产生的热软化至玻璃表面熔融而流动，抛光是玻璃的表面分子经过重新分布最后形成平整表面的过程;
3、有关机械作用的学说，在研磨过程中抛光是由于研磨设备之间的作用产生的;
4、机械、物理化学的学说，即玻璃抛光的过程是机械和物理化学作用的共同过程;
